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H94-35型(LED)4″双面光刻机

更新:2017-1-9 15:25:49      点击:
  • 品牌:   SVC
  • 型号:   H94-35型
  • 市场价:    元
  • 优惠价:    元 (已有 1 人购买)
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产品介绍
 
主要用途:
    主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路的研制和生产。

工作方式:
    本机采用版—版对准双面同时曝光方式,亦可用于单面曝光。

主要构成:
    主要由高精度对准工作台、Z轴升降机构、双视场CCD显微显示系统)、二台多点光源蝇眼式曝光头、真空管路系统、气路系统、直联式真空泵、防震工作台等组成。

 

CCD显微系统|X、Y、Q对准工作台|Z轴升降机构


主要功能特点 

1.曝光类型:单面对准双面一次曝光;

2.曝光面积:110×110mm

3.曝光照度不均匀性:3%

4.曝光强度:≥40mw/cm2可调;

5.紫外光束角:≤3˚

6.紫外光中心波长:365nm404nm435nm可选:

7.紫外光源寿命:≥2万小时;

8.曝光分辨率:1.5μm

9.曝光模式:双面同时曝光;

10.对准精度:对准精度6μm

11对准范围:X:±5mm   Y:±5mm

12.旋转范围:Q向旋转调节≥±5°;

13.最大升降:≥16mm

14.密着曝光方式:密着曝光可实现硬接触、软接触和微力接触曝光;

15.显微系统:双视场CCD系统,显微镜45X300X连续变倍,显微镜扫描范围:X:±40mmY:±35mm;双物镜距离可调范围:11mm100mm,计算机图像处理系统,19″液晶监视器;

16.掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″;

17.基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″;

18.基片厚度:≤5 mm

19.曝光定时:0999.9秒可调;

20. 电源:单相AC220V  50HZ ,功耗≤1.5KW

21.洁净压缩空气压力:≥0.4MPa

22.真空度:-0.07MPa~-0.09MPa

23.尺寸: 985mm(长)×680mm(宽)×1800mm(高);

24.重量:约190Kg



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